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연대 한재원 교수, 반도체 노광장비 원천기술 개발 Nov 26th 2012, 07:21 빛을 이용해 반도체 회로의 정밀한 밑그림을 그리는 '노광기술'의 원천기술이 국내 연구진에 의해 개발됐다. 연세대는 한재원 기계공학과 교수 연구팀이 플라즈모닉(Plasmonic) 기술을 이용한 10nm(나노미터)급 차세대 반도체 노광장비의 원천 기술을 개발했다고 26일 밝혔다. 플라즈모닉 기술은 금속의 전자 원리를 이용해 빛의 파장보다 더 작은 광원을 만드는 기술이다. 노광기술은 반도체 생산을 위한 핵심 기술이지만 아직 국내에는 원천기술이 없어 수백억 원에 이르는 고가의...

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